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Diagnostica e modellizzazione di un plasma freddo di SF6 per applicazioni industriali

Lo studio dell'interazione plasma-superfici sta assumendo sempre maggior importanza nelle tecnologie industriali, dal campo dei semiconduttori ad applicazioni nel settore tessile. In questa tesi un plasma di SF6 è stato fatto interagire con le superfici di seta, cotone e poliestere ottenendo una modificazione delle proprietà superficiali dei tessuti. In particolare si è ottenuta una idrofobizzazione dei suddetti materiali, notorialmente idrofili. Lo studio è stato effettuato controllando il processo con diagnostiche sperimentali e mediante simulazioni della cinetica chimica del reattore.

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PREVIEW Le ricerche sui plasmi generati nelle scariche a gas sono di grande interesse nelle applicazioni industriali. In funzione del tipo di gas utilizzato per la produzione del plasma, differenti processi come deposizione di film sottili, etching, polimerizzazione e attivazione possono produrre modificazioni degli strati superficiali dei materiali trattati. In particolare un plasma di Esafluoruro di Zolfo ( 6 SF ) possiede alcune caratteristiche che lo rendono adatto per processi quali l’attivazione e la polimerizzazione di superfici. Presenta una relativa abbondanza di fluoro (liberato in forma radicale dagli elettroni del plasma) dovuta alla bassa energia di legame S-F nella molecola 6 SF (4.1 eV) rispetto all'energia di ionizzazione (15.3 eV). Inoltre ha una bassa propensione a polimerizzare e, quindi, a formare depositi di fluoruri di zolfo sulle superfici a contatto con il plasma. Lo scopo di questa ricerca consiste proprio nell’analisi sperimentale e numerica di un plasma di 6 SF per l’attivazione e la polimerizzazione dei materiali. Le tematiche affrontate in questa ricerca sono suddivisibili in tre categorie: • studio e caratterizzazione dei parametri del plasma di 6 SF e dei sistemi di controllo della scarica; • studio dei modelli di plasma e loro verifica sulla base delle osservazioni sperimentali;

Tesi di Laurea

Facoltà: Scienze Matematiche, Fisiche e Naturali

Autore: Fabio De Colle Contatta »

Composta da 104 pagine.

 

Questa tesi ha raggiunto 1678 click dal 20/03/2004.

Disponibile in PDF, la consultazione è esclusivamente in formato digitale.