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Applicazione della metodologia SBL nel collaudo dei dispositivi a semiconduttore

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APPLICAZIONI DELLA METODOLOGIA SBL NEL COLLAUDO DEI DISPOSITIVI A SEMICONDUTTORE 4 PREMESSA L’uso delle tecniche statistiche per l’analisi dei dati nel mondo industriale è sempre in forte espansione. Di enorme applicazione sono le tecniche di Statistical Process Control, di analisi fattoriale della varianza e delle tecniche di regressione lineare e non. L’argomento di questa tesi riguarda lo studio e l’applicazione della metodologia cosiddetta Statistical Bin Limit a dati che provengono da una particolare fase di collaudo (Electrical Wafer Sort) e di fabbricazione dei dispositivi a semiconduttore. La fase di collaudo viene effettuata su fette di silicio su cui si trovano, non ancora montati negli appositi contenitori, i dispositivi. A parità di programma di collaudo, i dispositivi potranno essere conformi oppure no alle prestazioni richieste: quindi ogni fetta potrà avere un certo numero di dispositivi conformi (GOOD) e difettosi (FAIL): dal rapporto tra GOOD e totali dei collaudati si ottiene la resa per wafer. La perdita di resa è rappresentabile come la somma di diverse tipologie di guasto, a loro volta dovute, anche se non sempre, alla presenza di difetti nel materiale oppure causate da errori nel processo di fabbricazione. L’analisi della distribuzione delle tipologie di guasto (chiamati BIN) può quindi mettere in evidenza se i difetti che li hanno provocati provengono da cause sistematiche oppure casuali. La tecnica SBL permette quindi di individuare quegli insiemi di dati che essendo “fuori distribuzione o outlier” possono indicare particolari criticità. La STM sta investendo su questa tecnica per la rimozione, nella prima fase di fabbricazione, di quei dispositivi che potrebbero essere critici in quanto a qualità e affidabilità. L’uso di una tecnica del genere in ambito industriale deve essere organizzata tenendo conto della struttura della società.

Anteprima della Tesi di Francesco Capone

Anteprima della tesi: Applicazione della metodologia SBL nel collaudo dei dispositivi a semiconduttore, Pagina 1

Laurea liv.I

Facoltà: Scienze Statistiche

Autore: Francesco Capone Contatta »

Composta da 53 pagine.

 

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