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Applicazione di un dispositivo LIS per la sintesi di nanocristalli di Si in matrici di SiOxNy

Informazioni tesi

  Autore: Gabriele Congedo
  Tipo: Tesi di Laurea
  Anno: 2006-07
  Università: Università degli Studi di Lecce
  Facoltà: Ingegneria
  Corso: Ingegneria dei Materiali
  Relatore: Nicola Lovergine
  Lingua: Italiano
  Num. pagine: 123

La tesi si concentra sull'impiego di un dispositivo LIS (Laser Ion Source), che sfrutta il plasma prodotto da ablazione laser di target solidi, per la sintesi di nanocristalli (NC) di Si in una matrice amorfa, mediante la tecnica denominata Pulsed Laser Deposition (PLD). I campioni depositati sono stati poi caratterizzati mediante le tecniche XRD, SEM e AFM.
La deposizione è stata eseguita in condizioni differenti da quelle utilizzate tipicamente con gli apparati PLD; lo scopo della tesi è chiarire se un tale dispositivo possa produrre dei risultati confrontabili con quelli ottenuti mediante le tecniche convenzionali di deposizione.

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________________________PREFAZIONE - 1 - PREFAZIONE Una delle strade da sempre seguite dalla scienza ed ingegneria dei materiali consiste nella sintesi di nuovi materiali dotati di proprietà innovative, da utilizzare in sostituzione dei materiali più tradizionali in diversi campi tecnologici. Unitamente a ciò, numerosi sforzi vengono prodotti per “brevettare” nuove tecniche di sintesi/fabbricazione di materiali di importanza tecnologica, che siano più semplici da utilizzare e meno costose rispetto alle tecniche tradizionali. E’ di circa 15 anni fa la scoperta che il silicio (Si), materiale abbondantissimo sulla crosta terrestre e di gran lunga il più utilizzato in micro-elettronica, se sintetizzato nella forma di nanocristalli di dimensioni dell’ordine di poche decine di nm è in grado di emettere luce. Questa scoperta ha aperto una nuova frontiera nel campo di utilizzo del silicio nanocristallino per l’opto-elettronica (ad es. per la fabbricazione di dispositivi fotoluminescenti e/o elettroluminescenti). Accanto a queste importanti applicazioni, le ricerche più attuali sull’utilizzo del Si nanocristallino riguardano anche il. campo del fotovoltaico e delle memorie non volatili. Questo lavoro di tesi si concentra sull’impiego di un dispositivo LIS (Laser Ion Source), che sfrutta il plasma prodotto dall’ablazione laser di un target solido di Si, per la sintesi di nanocristalli (NC) di Si in matrici di ossido-nitruro di Si (SiO x N y ).La sintesi dei NC è stata studiata usando la

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Parole chiave

afm
nanocristalli
pld
sem
silicio
xrd

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