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Realizzazione di eterostrutture epitassiali tramite fotodeposizione laser di ossidi superconduttori per applicazioni alla microelettronica

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La tesi è strutturata come segue. Nel primo capitolo – parte I – verranno brevemente illustrate le problematiche generali riguardanti la Microsystem Technology e le aree di applicazione dei microsistemi allo stato dell’arte. Saranno quindi descritte alcune tra le più importanti tecnologie di fabbricazione dei microsistemi, comprese le ”tecniche non tradizionali” che accoppiano le metodologie ereditate dalla microelettronica alla tecnologia del laser. Il primo capitolo – parte II – costituisce una breve rassegna sullo stato dell’arte per ciò che concerne la deposizione di film sottili di ossidi funzionali e le loro numerose applicazioni. Nel secondo capitolo verranno descritti gli apparati sperimentali per la deposizione e la caratterizzazione dei film, il diffrattometro di Bragg-Brentano a raggi X, la tecnica di crescita PLD “convenzionale”, e brevemente la camera di crescita Laser-MBE (acronimo di Laser-Molecular Beam Epitaxy), fotodeposizione laser in condizioni UHV dotata del sistema diagnostica in-situ della crescita Reflection High-Energy Electrons Diffraction (RHEED). Nel terzo capitolo verranno illustrate le proprietà strutturali dei superreticoli (BaCuO2)m/(CaCuO2)n, eterostrutture realizzate depositando l’uno sull’altro strati epitassiali, a partire da un opportuno substrato cristallino di SrTiO3 (001), costituiti da m celle unitarie di BaCuO2 e da n celle di CaCuO2. Nel quarto ed ultimo capitolo saranno discussi i risultati sperimentali riguardanti due tipologie di cuprati studiati nel corso del lavoro di tesi: i superreticoli (BaCuO2)m/(CaCuO2)n ed i film ultrasottili, fino a poche decine di Å, costituiti da una sola ripetizione della struttura (BaCuO2)m/(CaCuO2)n/(BaCuO2)m, entrambi superconduttori ad alta temperatura critica. Tali film sono stati depositati utilizzando la tecnica di crescita Pulsed Laser Deposition in alta pressione di ossigeno, e caratterizzati mediante diffrazione a raggi X (per quanto concerne le proprietà cristallografiche) e mediante misure di trasporto elettriche e magnetiche (per quanto concerne le proprietà di trasporto). Nelle conclusioni, infine, verranno, brevemente, passati in rassegna i risultati sperimentali ottenuti sui superreticoli (BaCuO2)m/(CaCuO2)n e sulle

Anteprima della Tesi di Simone Lavanga

Anteprima della tesi: Realizzazione di eterostrutture epitassiali tramite fotodeposizione laser di ossidi superconduttori per applicazioni alla microelettronica, Pagina 2

Tesi di Dottorato

Dipartimento: Facoltà di Ingegneria

Autore: Simone Lavanga Contatta »

Composta da 170 pagine.

 

Questa tesi ha raggiunto 1841 click dal 20/03/2004.

 

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Disponibile in PDF, la consultazione è esclusivamente in formato digitale.