Utilizzo di microleve in silicio per applicazioni biosensoristiche
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Introduzione Università degli Studi di Genova - Facoltà di Ingegneria - D.I.B.E. I INTRODUZIONE Una proprietà di notevole interesse, tra quelle della superficie di un solido, è lo stress superficiale, in quanto esso permette di caratterizzare i fenomeni e le interazioni che avvengono tra la superficie ed il mezzo in cui il solido si trova. Lo stress superficiale è una componente dell'energia superficiale dei materiali. Esistono principalmente due componenti dell'energia superficiale: quella plastica (il materiale mantiene la stessa distanza atomica, quindi l'aumento o la riduzione della superficie è dovuta rispettivamente all'aumento o alla riduzione del numero d’atomi) e quella elastica. Per piccole alterazioni, nei solidi, lo stress è una deformazione puramente elastica. Esistono diversi metodi per misurare l'energia superficiale in modo accurato, pur essendo comunque difficile per i solidi quantificare esattamente lo stress superficiale. Infatti, molti metodi presentano alcuni svantaggi, per esempio richiedono soluzioni tecniche assai complesse, non possono essere usati per monitorare le variazioni dell'energia superficiale, sono semi - empirici o, ancora, si possono utilizzare solo per specifiche applicazioni. Negli ultimi anni si sono iniziate ad esplorare le possibilità offerte dall’utilizzo di leve microfabbricate di silicio, normalmente usate nella microscopia a forza atomica, come microsensori basati sulla misura di stress superficiale. Il microscopio a forza atomica (AFM) ideato da Binning, Quate e Gerber nel 1986, appartiene ad una classe di strumenti che studiano le interazioni tra il campione in esame ed una sonda, attraverso la rilevazione di forze superficiali. Per un AFM il sensore è costituito, come detto, da una microleva in nitruro di silicio di dimensioni dell’ordine dei 100 Πm * 20 Πm, con uno spessore dell’ordine di 1 Πm. All'estremità di un lato della leva viene microfabbricata (durante il processo produttivo della leva stessa) una punta, di dimensioni
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Utilizzo di microleve in silicio per applicazioni biosensoristiche
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Informazioni tesi
Autore: | Paolo Buffoni |
Tipo: | Tesi di Laurea |
Anno: | 1996-97 |
Università: | Università degli studi di Genova |
Facoltà: | Ingegneria |
Corso: | Ingegneria Elettronica |
Relatore: | M. Grattarola |
Lingua: | Italiano |
Num. pagine: | 111 |
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